在金屬材料化學分析發展史中，原子光譜法在近幾十年得到廣泛應用，是在物理學研究到原子核階段以后相繼出現的。

原子吸收光譜法工作原理為用被測元素純金屬制成空心陰極燈的陰極，該光源輻射出特征波長光，通過分光系統尋找該譜線并置于峰線極大位置，此時吸收池溶液在原子化器的作用下生成該元素的基態原子，基態原子吸收特征譜線的光而上升到激發態，根據特征譜線光強度的改變進行分析得出金屬成分含量。原子吸收光譜儀的核心部分為原子化器，目前原子化器主要有火焰原子、石墨爐原子和汞/氫化物發生原子器三種，比較常用的是火焰原子和石墨爐原子吸收光譜儀。

火焰原子吸收光譜法，其工作原理為利用火焰的高溫燃燒使試樣原子化，從而進行元素含量分析的一種方法。優點：點火麻煩、原子化效率低造成精度和靈敏度差，只可用于分析液體樣品。

石墨爐原子吸收法是利用電流加熱石墨爐產生阻熱高溫使試樣原子化，并進行輻射光譜吸收分析的方法。相比于火焰原子吸收法，分析試樣幾乎全部參加原子化，且有效避免了火焰氣體對原子濃度的稀釋。優點：樣品利用率高、靈敏度高、低的化學干擾、液體樣品和固體樣品均可分析。缺點：設備操作復雜，不如火焰法快速簡捷，對試樣的均勻性要求高和有較強的背景吸收，測定精度不如火焰原子吸收法。